纯蒸汽发生器是一种利用纯化水制造纯净蒸汽的装置。在制药、生物技术、食品加工、电子工业等领域中，被广泛应用于各种工艺流程中，包括灭菌、干燥、清洗以及材料生产等。
纯蒸汽发生器的工艺原理主要包括水质处理、蒸汽产生、升温冷却控制、回收凝结水等方面。
1、水质处理
纯蒸汽发生器所使用的水源必须纯化至高度纯净水(WFI)级别。水质处理工艺主要是通过反渗透和离子交换方式提高水质。
反渗透是一种通过高压将水分子从低浓度溶液中转移到高浓度溶液中的工艺。通过反渗透工艺，水中的矿物质、离子、金属、微生物等杂质被过滤，获得了高纯度的水。
离子交换是利用树脂对水中的离子进行特异性吸附，进一步提升水质。在离子交换器中，阳离子树脂可以去除水中的阴离子，而阴离子树脂可以去除阳离子。
在水的处理过程中，要注意避免对水的二次污染。因此，在处理水的设备中一般都采用了密闭的设计，并安装了制药级别的过滤器和 UV 灯杀菌系统来确保水的纯净度。
2、蒸汽产生
纯蒸汽发生器的主要功能是将高纯度的水转变成纯净的蒸汽，蒸汽的纯净度需要达到 WFI级别。蒸汽的产生需要依靠高压蒸汽发生器。
在 HPG 房间内，通过加热水产生高温高压的蒸汽。蒸汽在HPG中产生后，通过一系列的管道与后续的工艺设备连接，将纯蒸汽输送到设备中进行操作。
3、升温冷却控制
在移动过程中和在设备接触时，纯蒸汽发生器的纯净度可能会下降。因此，在使用纯蒸汽发生器时，需要控制和保持纯蒸汽发生器中的温度和压力，以保证纯蒸汽的质量和纯度。
升温控制主要是逐步将水加热到一定温度，将水转变成蒸汽。冷却控制则是在制造蒸汽时，需要加入制冷剂，以降低温度和压力，并对蒸汽进行控制。这个过程将提高纯蒸汽质量，并增加蒸汽的纯度。
4、回收凝结水
在纯蒸汽发生器的使用过程中，还需要考虑处理废水和废气。为了使得纯蒸汽发生器的使用更加经济和环保，通常采用回收凝结水的方式，将凝结水回收再利用。
凝结水处理过程包括收集、回收和处理。在收集阶段，蒸汽通过一些管道和设备向各个区域输送，并沉淀和收集到凝结水。然后，通过回收和处理，将凝结水变成可以再次使用的水来进行操作。
